本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由江苏省石墨烯检测标准化技术委员会提出并归口。
本文件起草单位:江苏省特种设备安全监督检验研究院[国家石墨烯产品质量检验检测中心(江苏)]、苏州晶格电子有限公司、河南煜和科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司。
本文件主要起草人:杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁,呼志跃、王云超、王勤生、马龙,李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩。

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米,亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定,方块电阻测试范围为1X10‘0.~1X10* 0。