本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替DB31/ 374—2006《半导体行业污染物排放标准》，与DB31/ 374—2006相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
——更改了水污染物排放标准的标准分级：将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准，将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别（见 4.1，2006 版的4.1.4）；
——删除了大气污染物的排放速率控制方式（2006 版的 4.2.2.2）；
——更改了污染物控制项目：增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、
总锌和综合毒性（见表 1）；取消了水污染物控制项目五日生化需氧量（2006 版的 4.1.4）；
增加了大气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物（见 5.1.1，2006 版的 4.2.2.2）；
——更改了部分污染物项目的排放限值：收严了悬浮物、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总氰化物、总铜、总铅、总镉、总镍等 9 项水污染物项目的排放限值（见 4.1，2006 版的 4.1.4）；
收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等 3 项大气污染物项目的排放限值（见 5.1.1，2006版的 4.2.2.2）；
——增加了边界污染物监控要求（见 5.3）；
——更改了部分污染物项目的测定分析方法（见 6.2.2 和 6.3.4，2006 版的 5.4）；
——增加了达标判定要求（见 8）。
本文件由上海市生态环境局提出并组织实施。
本文件由上海市生态环境保护标准化技术委员会归口。
本文件起草单位：上海市环境科学研究院、上海市集成电路行业协会。
本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾丽丽、卢士强、刘扬、陈昊、何姚军、石建宾。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：
——2006 年首次发布为 DB31/ 374—2006；
——本次为第一次修订。

本文件规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求、实施与监督等内容。
本文件适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理，以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。