本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由安徽省生态环境厅提出并归口。
本文件起草单位：安徽省生态环境科学研究院、安徽建筑大学、合肥市环境保护科学研究所、合肥工业大学。
本文件主要起草人：孙雷、王晓辉、黄健、蒋世友、刘亚风、岳正波、何祥亮、刘慧、张斌、程堃、张华、奚姗姗。
本文件由安徽省人民政府 2022年8月22日批准。

本文件规定了半导体企业的水污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与监督。
本文件适用于半导体企业的水污染物排放管理、排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、建设项目竣工环境保护验收及其投产后的污染控制与管理。