为贯彻《中华人民共和国环境保护法》和《中华人民共和国清洁生产促进法》，指导和推动电子器件制造企业依法实施清洁生产，提高资源利用率，减少和避免污染物的产生，保护和改善环境，制定电子器件制造行业清洁生产评价指标体系（以下简称“指标体系”）。
本指标体系依据综合评价所得分值将企业清洁生产等级划分为三级，Ⅰ级为国际清洁生产领先水平；Ⅱ级为国内清洁生产先进水平；Ⅲ级为国内清洁生产一般水平。随着技术的不断进步和发展，本指标体系将适时修订。
本指标体系起草单位：中国电子技术标准化研究院、中国环境科学研究院、中国电子工程设计院有限公司、中国半导体行业协会、京东方科技集团股份有限公司、英特尔（中国）有限公司负责起草。
本指标体系主要起草人：高坚，果荔，杨奕，丁涛，李艳萍，徐超，陈贤，张抒洁，张青玲
本指标体系由国家发展改革委、生态环境部会同工业和信息化部联合提出。
本指标体系由国家发展改革委、生态环境部会同工业和信息化部负责解释。

本评价指标体系规定了电子器件制造业中硅基半导体芯片制造生产企业（生产线）清洁生产的一般要求。本指标体系将清洁生产指标分为六类，即生产工艺装备及技术、资源能源消耗指标、资源综合利用指标、污染物产生指标、产品特征指标、清洁生产管理指标。
本指标体系适用于电子器件制造业中硅基半导体芯片制造生产企业（生产线）的清洁生产审核、清洁生产潜力与机会的判断以及清洁生产绩效评定和清洁生产绩效公告制度，也适用于环境影响评价、排污许可证、环保领跑者等环境管理制度。