本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第 1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第15部分。GB/T 25915 已经发布了以下部分:
-第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
-第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
-第3部分:检测方法;
-第4部分:设计、建造、启动;
-第5部分:运行;
-第6部分:词汇;
-第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
-第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
-第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
-第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;.
-第 12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求;
-第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁;
-第14部分:按粒子浓度评估设备适用性;
-第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。
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本文件等同采用ISO 14644-15:2017《洁净室及相关受控环境第 15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》。
本文件做了下列最小限度的编辑性改动:
-更正了表 1中的符号意义错误,将表中的“x与检测目标相关的特定指标”“x与评定目标相关的数量”合并修改为“x检测材料面积或检测设备数量”。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:深圳市吉隆洁净技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、苏州市计量测试院、苏州安泰空气技术有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、中国标准化协会、江苏富泰净化科技股份有限公司、天津大学、中国建筑科学研究院有限公司、中国电子系统第四建设有限公司、中国电子工程设计院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、中国合格评定国家认可中心、中科圣杰(深圳)科技集团有限公司、上海建科环境技术有限公司、广州市第二装修有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司、南京工业大学。
本文件主要起草人:胡茂从、王天羿、郝胤博、冯昕、裴晶晶、黄吉辉、暴海霞、孙玉澄、吴建华、袁月、袁佳、吴志坚、阎冬、陈晶晶、徐晓丽、石霞、夏高丰、韩辉、张志行、张仲杰、董学鑫、周斌、刘永、陈健、胡向阳、樊娜。

本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。
本文件不适用于以下内容:
-健康和安全要求;
-清洁剂及清洁技术的相容性;
-清洁性;
-生物污染;
-工艺和产品对设备和材料的特定要求;
-设备的设计细节。