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专门生产电子特种气体的企业，生产一氟甲烷作为蚀刻气体用于电子工业等离子蚀刻工艺，是否属于受控用途？

生态环境部部长信箱 2025-09-15

环境全国大气环境综合业务

问题

《关于严格控制氢氟碳化物化工生产建设项目的通知》（环办大气〔2024〕22号）规定：各地不得新建、扩建附件1所列用作制冷剂、发泡剂等受控用途的HFCs化工生产设施（不含生产过程中附带产生HFCs的化工生产设施，即副产设施）。其中受控用途指哪些用途？专门生产电子特种气体的企业，生产一氟甲烷作为蚀刻气体用于电子工业等离子蚀刻工艺，是否属于受控用途？

受控用途是指消耗臭氧层物质和氢氟碳化物作为制冷剂、发泡剂、灭火剂、溶剂、清洗剂、加工助剂、杀虫剂、气雾剂、膨胀剂等用途，在使用过程中不改变化学性质，最终会排放至大气环境中的用途。目前，按照《关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书》规定，生产一氟甲烷等氢氟碳化物作为蚀刻气体用于电子工业等离子蚀刻工艺，属于受控用途。

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