问题

尊敬的湖南省生态环境厅领导： 我公司成立于2023年7月，主营非金属矿物制品的制造。我公司产品主要为碳基复合材料，主要工艺为通过化学气相沉积的方式在石墨产品表面生成一层碳化硅/碳化钽涂层，形成石墨基座（又可以叫做托盘）后即外售给下游半导体加工企业；主要工序为外购石墨盘→超声波清洗→烘干→真空反应炉化学气相沉积→检验→包装外售，主要产污为氯化氢气体及喷淋塔废液。 在半导体晶体制备过程中，需要用到一个基座来承托半导体晶体，此基座需要有良好的导热/散热性能和优秀的化学稳定性，一般使用石墨基座。但是随着使用次数增加，石墨基座会因为腐蚀性气体的腐蚀和金属的残留，使其发生腐蚀掉粉，石墨基座的使用寿命会大打折扣，与此同时，掉落的石墨粉体还会对半导体器件造成污染。基于上述情况，我司通过在石墨基座上制备一层碳化硅/碳化钽涂层，可大大降低腐蚀性气体对石墨基座的腐蚀，提高了石墨基座的使用寿命，同时热导率和化学稳定性也进一步提高。 因此，我司的碳化硅/碳化钽涂层石墨基座产品作为半导体材料制造过程中的导热/散热平台，是仅仅作为耗材使用。 针对上述情况，我公司在办理环境影响评价手续过程中，有的环评单位根据其在半导体材料制造过程中充当的导热/散热作用，同时参照“国统字〔2019〕66号《2017国民经济行业分类注释》（按1号修改单修订）”，其中C3091石墨及碳素制品制造涵盖了“石墨散热/导热材料”，对应建设项目影响评价分类应为“二十七、非金属矿物制品业30石墨及其他非金属矿物制品制造309——其他”，应编制环境影响报告表。另外有些环评单位认为对应建设项目影响评价分类应为“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业81电子元件及电子专用材料制造398——半导体材料制造；电子化工材料制造”，应编制环境影响报告书。 为此，我们恳请省厅专家给予指导，以确定最适合的分类，感谢您的关注与支持！ 湖南九山半导体科技有限公司 2024年1月16日