本标准按照GB/T 1.1-2009《标准化工作导则第1部分:标准的结构和编写》给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国电子技术标准化研究院、全国绿色工厂推进联盟提出。 本标准由全国绿色工厂推进联盟、中国电子工业标准化技术协会归口。 本标准起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、新特能源股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、施耐德电气(中国)有限公司上海分公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司。 本标准主要起草人:李胡升、杨檬、周航、郑连基、邱艳梅、甘易武、鲍守珍、徐磊、李寿琴。
本标准规定了多晶硅制造业绿色工厂评价(以下简称“评价”)的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告格式等。 本标准适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价,运用其他工艺方法生产制造多晶硅产品的工厂可参照使用。
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